Haz de electrones:

Cañón de electrones de emisión de campo.

Permite trabajar en tres modos diferentes:

Alto vacío Bajo vacío Modo ambiental

< 6e-4 Pa 10 - 130 Pa 10 - 4000 Pa

· Voltaje de aceleración: 0.2 – 30 kV

· Aumentos: 30x – 1280kx

· Aperturas Motorizadas: 20, 30, 40, 50 y 1000 μm

· Resolución:

Alto vacío Bajo vacío Modo ambiental

1,2 nm a 30 kV 1,5 nm a 30 kV 1,5 nm a 30kV

2,9 nm a 1 kV 2,9 nm a 3 kV

· Detectores:

- ETD: detector de electrones secundarios para alto vacío.

- BSED: detector de electrones retrodispersados para alto vacío.

- LVSED: detector de electrones secundarios para bajo vacío.

- GSED: Detector de electrones secundarios para modo ambiental.

Haz de iones:

· Fuente de iones: Galio.

· Modo de trabajo: alto vacío (< 6e-4 Pa)

· Voltaje de aceleración: 2 – 30 kV

· Aumentos: 40x – 1280 kx (a 10kV)

· Resolución: 7 nm a 30 kV

Modos de operación complementarios:

· Espectroscopía de rayos X de dispersión de energías (EDAX)

· Cortes mediante FIB (Focused Ion Beam)

· Deposición de platino

· Grabación digital de video (.avi).

· Disposición de Cámaras de baja y alta Temperatura (-20ºC a 1000ºC)

Visualización micro y nanoscópica de muestras de muy diversa naturaleza, gracias a la posibilidad de trabajar en distintos intervalos de presión. Posibilidad de hacer estudios en profundidad mediante la aplicación de Sputtering con iones Ga+. Permite realizar estudios in situ al aplicar temperaturas de hasta 1000ºC, así como realizar micro deposición con área y espesor controlado de Pt. Además dispone de detector EDX para realizar análisis y mapeos elementales de modo semicuantitativo.