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Quanta 3D FEG de FEI Company


Technique:  Microscopía Electrónica de Barrido
Unit:  Microscopía Electrónica.

UEX. Universidad de Extremadura

Análisis y Caracterización de Sólidos y Superficies

Edificio Guadiana // SAIUEx II // Laboratorio 2.5

Responsible
  •  Daniel Gamarra Sánchez
  •  0034 924 289 300 Ext. 89704
  •  dgamarrra@unex.es
Specifications

 

Haz de electrones:
Cañón de electrones de emisión de campo.
Permite trabajar en tres modos diferentes:
Alto vacío Bajo vacío Modo ambiental
< 6e-4 Pa 10 - 130 Pa 10 - 4000 Pa
· Voltaje de aceleración: 0.2 – 30 kV
· Aumentos: 30x – 1280kx
· Aperturas Motorizadas: 20, 30, 40, 50 y 1000 μm
· Resolución:
Alto vacío Bajo vacío Modo ambiental
1,2 nm a 30 kV 1,5 nm a 30 kV 1,5 nm a 30kV
2,9 nm a 1 kV 2,9 nm a 3 kV
· Detectores:
- ETD: detector de electrones secundarios para alto vacío.
- BSED: detector de electrones retrodispersados para alto vacío.
- LVSED: detector de electrones secundarios para bajo vacío.
- GSED: Detector de electrones secundarios para modo ambiental.
Haz de iones:
· Fuente de iones: Galio.
· Modo de trabajo: alto vacío (< 6e-4 Pa)
· Voltaje de aceleración: 2 – 30 kV
· Aumentos: 40x – 1280 kx (a 10kV)
· Resolución: 7 nm a 30 kV
Modos de operación complementarios:
· Espectroscopía de rayos X de dispersión de energías (EDAX)
· Cortes mediante FIB (Focused Ion Beam)
· Deposición de platino
· Grabación digital de video (.avi).
· Disposición de Cámaras de baja y alta Temperatura (-20ºC a 1000ºC)
Scope

 

Visualización micro y nanoscópica de muestras de muy diversa naturaleza, gracias a la posibilidad de trabajar en distintos intervalos de presión. Posibilidad de hacer estudios en profundidad mediante la aplicación de Sputtering con iones Ga+. Permite realizar estudios in situ al aplicar temperaturas de hasta 1000ºC, así como realizar micro deposición con área y espesor controlado de Pt. Además dispone de detector EDX para realizar análisis y mapeos elementales de modo semicuantitativo.

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-
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