XPS (X-Ray Photoelectron Spectroscopy)
Propiedades de la fuente: Radiación Monocromática Kα del Al a 1486.68 eV con irradiación perpendicular a la muestras (90º)
Spot size: 30 a 400 μm en disposición elipsoidal.
Propiedades de la fuente de Depth Profile: Bombardeo con iones Ar+ (Energías 1, 2 o 3 KeV.), fuente situada con una inclinación de 30º respecto a la horizontal de la muestra.
Dispositivo de Compensación de Carga mediante Flood Gun.