· Cañón de electrones de emisión de campo.
· Modo de trabajo en alto vacío.
· Voltaje de aceleración: 0.5 – 30 kV.
· Aumentos: 30x – 800 kx.
· Resolución: - 1,0 nm a 15 kV
- 2.0 nm a 1 kV
· Detectores:
- Electrones secundarios (SE).
- Electrones retrodispersados (BSE) (Centaurus).
- Electrones transmitidos (STEM).
· Otros Detectores:
- Espectroscopía de rayos X de dispersión de energías (EDX). Detector por deriva de silicio (SDD) XFlash 5010 de Bruker.