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TOF-SIMS5 de Ion Tof

Technique:  TOF-SIMS
Unit:  Análisis de Superficies

UEX. Universidad de Extremadura

Análisis y Caracterización de Sólidos y Superficies

Edificio Guadiana // SAIUEx II // Laboratorio 2.4

Responsible
  •  Daniel Gamarra Sánchez
  •  0034 924 289 300 Ext. 89704
  •  dgamarrra@unex.es
Specifications

 

TOF-SIMS5 (Time Of Flight Secondary Ions Mass Spectrometer)
Ion Gun: Bombardeo mediante iones Bi
Intensidad de iones primarios. Bi+: 1.2 pA, Bi++: 0.3 pA, Bi+++:0.2 pA.
Sputtering Gun: Oxigen Gun (Detección +) o Cesium Gun (Detección -).
Energías de Sputtering: 250, 500, 1000 o 2000 eV, para la realización de perfiles
de profundidad.
Intervalo de Masas Detectable: De 0 a 12000 u.m.a.
Resolución lateral: 130 nm a 1 μm
Resolución Másica: 100 ns.
Spot Size de Medida: 10 – 500 μm en disposición cuadrada.
Scope

Análisis Superficial de Sólidos de cualquier naturaleza mediante extracción de iones y detección con espectrometría de masas por tiempo de vuelo

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